极紫外光微影（EUV）设备对于未来几年现代制程技术和半导体制造至为重要，但一台EUV设备耗电1,400瓩，足以为一座小城市供电，已成为影响环境的重要电力消耗者。TechInsights认为，到了2030年，所有配备EUV设备的晶圆厂每年耗电量将超过54,000 GW（百万瓩），超过新加坡或希腊等许多国家一年的用电量。

根据TechInsights，目前低数值孔径的EUV扫描仪耗电量达1,170瓩，而下一代高数值孔径机器预计每台需耗电达1,400瓩。英特尔、美光、三星、SK海力士，以及台积电等公司的晶圆厂安装这些机器的数量每年都在增加中。

TechInsights认为，到了2030年配备EUV扫描器的晶圆厂数量将从目前的31座增至59座，运作的EUV数量将增加一倍左右。因此，所有已安装的EUV系统每年将消耗6,100 GW的电力，意味著届时将有数百台机器投入营运。

每年6,100 GW约莫是卢森堡的用电量，不算太多。然而，每颗先进晶片的生产都需要超过4,000个步骤，而且一座晶圆厂内有数百台工具。EUV设备约占晶圆厂总用电量的11%，其余为其他工具、暖通空调（HVAC）、设施系统和冷却设备的用电。

因此，所有配备低数值孔径和高数值孔径EUV设备晶圆厂的用电量预计将增至每年54,000 GW，大约是Meta资料中心2023年耗电量的3.6倍，也超过新加坡、希腊或罗马尼亚全年的用电量。

依此推算，如果59座采用EUV工具的先进半导体生产设施每年消耗54,000 GW的电力，那么每座设施每年的用电量将为915 GW，相当于最先进资料中心的耗电量。预计到2030年，配备EUV的晶圆厂数量将增近一倍，用电量也将增加一倍以上，电力基础设施将面临重大挑战。

如今，英特尔等晶片制造商倾向于只使用永续的绿能，但绿能目前的供电量很有限。随著人工智慧（AI）资料中心的电力需求不断增加，亚马逊云端部门AWS、微软和甲骨文计划使用核电厂为其资料中心供电。也许晶片制造商几年后也须考虑使用核能。然而，电网是否做好准备能在短短六年内为AI资料中心、先进晶圆厂、家庭和其他产业供电还有待观察。

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